CMTF
临界调制传输函数
CMTF临界调制传输函数(CMTF,CriticalModulationTransferFunction)。
主要表征光刻胶本身曝光对比度的参数。即光刻胶分辨透射光线明暗的能力。一般来说光路系统的调制传输函数必须大于光刻胶的临界调制传输函数,即MTF>CMTF。
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最新修订时间:2023-10-30 19:21
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