MOCVD系统
工艺试验仪器
MOCVD系统是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2000年11月1日启用。
技术指标
采用化学汽相淀积方法，在GaAs或InP衬底上进行外延生长，制备各种微电子或光电子器件。
主要功能
芯片测试。
参考资料
MOCVD系统.国家科技基础条件平台中心.
最新修订时间：2022-06-29 20:28
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概述
技术指标
主要功能
参考资料

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