PECVD系统
分析仪器
PECVD系统是一种用于统计学领域的分析仪器，于2006年8月1日启用。
技术指标
1*10-6pa。
主要功能
PECVD系统。
参考资料
PECVD系统.国家科技基础条件平台中心.
最新修订时间：2021-01-06 11:40
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技术指标
主要功能
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