PSD
光电器件是一种光能/位置转换器件,由于位置量为模拟量输出,
系统响应快,分辨率高,成本低,因此具有广泛应用的价值。同时可对目标信号进行调制,因而可以显著提高系统的
抗干扰能力,可以用来实现高速、高精度、抗干扰能力强的
位置检测系统。因而近年来采用PSD作为位置检测
实现技术一直受到重视,并不断
研究开发出新的
应用技术。研究表明,PSD与
CCD器件的最大不同之处是PSD光电位置信号与照射强度相关,以及PSD信号的
非线性影响,因而PSD
传感装置主要用于
一维和二维位置量检测,直接用于D3定位和位置测量还有许多问题需要解决。
位置敏感器件PSD(Position Sensitive Detector)。PSD 属于
半导体器件, 一般做成P+I+N结构,具有高灵敏度、高分辨率、响应速度快和配置电路简单等优点, 其弱点主要是非线性。其工作原理是基于横向
光电效应。
PSD 由三层构成, 最上一层是P 层, 下层是N 层,中间插入一较厚的
高阻I层,形成P-I- N 结构。
当PSD 表面受到光照射时,在
光斑位置处产生比例于
光能量的电子—
空穴对流过P 层电阻, 分别从设置在P 层相对的两个电极上输出光电流I 1 和I 2。