四氟化碳，又名四氟甲烷，化学式为CF4，它既可以被视为一种卤代烃（有机物），也可以被视为一种无机化合物，常温常压下为无色气体，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
理化性质
熔点：-184℃
沸点：-130℃
临界温度：-45.5℃
临界压力：3.74MPa
折射率：1.113（-53ºC）
饱和蒸气压：13.33kPa（-150.7℃）
外观：无色气体
溶解性：不溶于水，溶于苯和氯仿
分子结构数据
摩尔折射率：7.3
摩尔体积（cm3/mol）：66.8
等张比容（90.2K）：105.0
表面张力（dyne/cm）：6.0
极化率（10-24cm3）：2.89
计算化学数据
疏水参数计算参考值（XlogP）：1.8
氢键供体数量：0
氢键受体数量：4
可旋转化学键数量：0
互变异构体数量：0
拓扑分子极性表面积：0
重原子数量：5
表面电荷：0
复杂度：19.1
同位素原子数量：0
确定原子立构中心数量：0
不确定原子立构中心数量：0
确定化学键立构中心数量：0
不确定化学键立构中心数量：0
共价键单元数量：1
用途
主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
储存方法
储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。