X光荧光分析又称X射线荧光分析(XRF)技术，即是利用初级x射线光子或其他微观粒子激发待测样品中的原子，使之产生荧光(次级x射线)而进行物质成分分析和化学形态研究的方法。

X光荧光分析又称X射线荧光分析(XRF)技术，即是利用初级X射线光子或其他微观粒子激发待测样品中的原子，使之产生荧光(次级X射线)而进行物质成分分析和化学形态研究的方法。

X射线是一种电磁辐射，按传统的说法，其波长介于紫外线和γ射线之间，但随着高能电子加速器的发展，电子轫致辐射所产生的X射线的能量可能远大于γ射线，故X射线的波长范围没有严格的界限，对于X射线荧光分析而言，一般是指波长为0.001～50 nm的电磁辐射。对化学分析来说，最感兴趣的波段是0.01～24 nm，0.01 nm附近是超铀元素的K系谱线，24 nm则是最轻元素Li的K系谱线。

当原子受到X射线光子(初级X射线)或其他粒子的激发使原子内层电子电离而出现空位时，原子内层电子便重新配位，较外层的电子跃迁到内层电子空位，同时发射出次级X射线光子，即X射线荧光：较外层电子跃迁到内层电子空位所释放的能量等于两电子能级的能量差j因此，X射线荧光的波长对不同元素是不同的、

1923年，瑞典的赫维西(G von Hevesy)提出了应用X射线荧光光谱进行定量分析，但由于受到当时探测技术水平的限制，该法并未得到实际应用，直到20世纪40年代后期，随着X射线管、分光技术和半导体探测器技术的改进，X荧光分析技术才进入快速发展时期，成为一种极为重要的分析手段。

按激发、色散和探测方法的不同，X荧光分析技术可分为X射线光谱法(即利用波长色散)和X射线能谱法(即利用能量色散)、

1.分析速度快，通常每个元素分析测量时间在2～lOOs之内即可完成。

2.非破坏性，X射线荧光分析对样品是非破坏性测定，使得其在一些特殊测试如考古、文物等贵重物品的测试中独显优势

3.分析样品范围广，可以对元素周期表上的多种元素进行分析，并可直接测试各种形态的样品。

4.分析样品浓度范围宽，可分析含量在0.0001%～100%宽范同内的组分含量。

5.分析精度高、重现性好。

随着仪器技术和理论方法的发展，X射线荧光分析法的应用范同越来越广。在物质的成分分析上，在冶金、地质、化工、机械、石油、建筑材料等工业部门，农业和医药卫生，以及物理、化学、生物、地学、环境、天文及考古等研究部门都得到了广泛的应用：有效地用于测定薄膜的厚度和组成．如冶金镀层或金属薄片的厚度，金属腐蚀、感光材料、磁性录音带薄膜厚度和组成：可用于动态分析上，测定某一体系在物理化学作用过程中组成的变化情况．如相变产生的金属问的扩散，固体从溶液中沉淀的速度，固体在同体中的扩散和同体在溶液中溶解的速度等。