三氟氧化磷，即磷酰氟，或正磷酰氟，正是一种无机化合物，化学式为POF3。

1.性状：无色，有刺激性臭味的气体，在空气中微弱发烟。

2.熔点（℃）：-39.4。

3.升华温度（℃）：-39.8。

4.临界温度（℃）：73.3。

5.临界压力（MPa）：4.18。

与三氯氧磷结构类似，POF3分子中的P是四配位的。P-O的键长短于158pm，说明有双键。P-F键长也明显短于单键键长，因此都被认为有π键成分。

相对于其他磷酰卤，POF3的水解能力较弱，当它发生水解时，生成二种中间产物，即单氟磷酸和二氟磷酸。水解的最终产物是磷酸和氟化氢。

制法：POCl3 + 3HF → POF3 + 3HCl

在双颈圆底烧瓶上安装石英冷凝器，冷凝器上口用石英管与液态氧冷却的冷阱相连。冷阱出口接KF干燥管。用一根铁的毛细管穿过橡皮塞进入圆底烧瓶底部。将POCl3放入烧瓶中，加入5%质量SbCl5催化剂，将气态的HF通过铁毛细管通入POCl3中，反应温度保持在50～65℃。收集在冷阱中的产物（POF3+3HCl），可经过几次分馏把它们分离出来。收率约为90%（按POCl3计）。

数据：

1.疏水参数计算参考值（XlogP）:1

2.氢键供体数量:0

3.氢键受体数量:4

4.可旋转化学键数量:0

5.互变异构体数量:无

6.拓扑分子极性表面积17.1

7.重原子数量:5

8.表面电荷:0

9.复杂度:53

10.同位素原子数量:0

11.确定原子立构中心数量:0

12.不确定原子立构中心数量:0

13.确定化学键立构中心数量:0

14.不确定化学键立构中心数量:0

15.共价键单元数量:1

信息：

危险类别码：14-34-36/37/38

安全说明：7/9-26-36/37/39-45

安全标志：S26:万一接触眼睛，立即使用大量清水冲洗并送医诊治。S45:出现意外或者感到不适，立刻到医生那里寻求帮助（最好带去产品容器标签）。