中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室依托中国科学院微电子研究所建立，是中科院微电子所第一个中科院重点实验室。

“中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室”2008年被批准正式成立，标志着中国科学院微电子研究所“微电子器件与集成技术重点实验室”正式升级为院重点实验室。

2008年10月，院计财局和高技术局组织专家组对“微电子器件与集成技术重点实验室”进行了现场评审。

专家组听取了实验室主任叶甜春、副主任夏洋及刘明、刘新宇、韩郑生、贾锐等研究员的工作报告和学术报告，并进行了现场考察，经认真讨论后认为：实验室研究方向及目标明确，符合中国科学院总体学科布局、研究所定位和相关学科的发展态势；在微电子前沿工艺、新器件和新设备等方面取得了一系列重大成果；形成了一支结构合理、协作精神好、创新能力强的科研队伍；对外合作交流活跃，组织开展了多项实质性的国际、国内合作，与国内外多所知名大学、研究机构、企业建立了良好的合作关系；已按照院重点实验室的要求建立了健全的规范管理制度和运行机制。最后，专家组一致认为该实验室已具备建设中科院重点实验室的条件。

2008年11月，根据新建院重点实验室的要求，院计财局会同全院四个专业局在现场评审的基础上又对实验室进行了综合评审，叶甜春所长、吴德馨院士、夏洋研究员、刘明研究员等到会进行了答辩。

此次参加答辩的院内实验室共有34个，按三分之一的比例淘汰，竞争激励，实验室在答辩中表现优异，顺利通过综合评审。

中科院微电子器件与集成技术重点实验室升级成功后将继续整合科研成果，形成一个目标明确、相互促进的有机整体，形成具有自主知识产权的，从材料、工艺到电路和设备应用的完整的微电子创新价值链，形成从科学研究、技术创新到工程应用的综合解决方案，建立微电子工艺技术研制的开放性平台，提供代表性产品，并取得一批具有自主知识产权的创新性成果。同时，带动多学科领域的发展，造就一支国际水平的创新团队，为我国相关领域可持续发展和创新跨越奠定基础，也为我所人才引进培养、学术交流合作、学风建设作出更大的贡献。