主泵
一种设备的代名词
主泵是一种设备的代名词，如真空镀膜机中的油扩散泵，在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵。
在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
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最新修订时间：2024-06-17 22:30
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