二次击穿是指
功率晶体管早期失效或突然损坏的重要原因,已成为影响功率晶体管安全可靠使用的重要因素。自从1957年Trornton和Simmons发现二次击穿现象以来,二次击穿一直受到十分关注。
示。这种现象称为一次击穿(见图1中“2”曲线),一旦反向偏压降低,器件就可复原,因而它是一种非破坏性的可逆反应。当集电极反偏电压进一步增大,集电极电流增大到某一临界值(图1中“2”曲线A点对应的临界值)时,管子反向电压突然降低,电流仍然继续增长,表现出负阻现象,这个现象称为二次击穿。简称SB(Second Breakdown)。这时,工作点将由A点以毫秒级的速度移向低电压大电流区的B点,在没有保护措施的情况下,就会造成很大的过电流,使晶体管烧毁。因此,二次击穿是一种热电击穿,它是破坏性的
不可逆反应。这一点是与
雪崩击穿(一次击穿)有本质差别的。
很多研究者对二次击穿进行了理论分析和实验研究。但对其机理的了解仍不甚完全和充分。一般认为二次击穿的机制分为热型和电流型两种,热型又称为热不稳定型,电流型也称为雪崩注入型,下面分别进行分析讨论。
热不稳定型理论认为,二次击穿与“过热点”有关,发射结电流集中,局部热起伏是形成过热点,产生热斑的主要原因。由于发射极电流随温度增加而指数上升,因此,在发射结偏置电压一定时,如果热起伏使结局部温度升高,由此引起电流增大,
耗散功率增加,如果增加的热量不能及时散发,必然进一步引起局部温度升高,电流更加集中。这样循环往复,就会在晶体管体内出现高温区,形成热斑,实验发现,热斑的直径只有cm,而
电流密度却高达A/cm2。当热斑的温度升高到半导体本征温度时,呈现本征导电,pn结耗尽区消失,大量热‘激发载流子使集电结短路。晶体管进入低压大电流的二次击穿状态。若无限流措施,大电流通过截面很小的局部热斑,将产生大量热量,而单位时间能散发出的热量是有限的,由此,引起热斑温度急剧上升,直至达到半导体材料的熔点,使材料熔化,产生熔融孔,造成晶体管永久失效。因此,二次击穿是局部温升与电流集中往复循环的结果,而循环和温升都需要一定的时间,因此触发延迟时间较长。
实验发现,硅外延
平面晶体管中存在快速二次击穿,由高压状态向低压大电流状态过渡十分迅速,延迟时间很短。这种二次击穿是由结处雪崩注入引起的,称为雪崩注入二次击穿。
基极开路时,流过晶体管的电流为穿透电流,集电结空间电荷区的宽度随着外加电压的增加而展宽,若外延层厚度较薄,在外加电压增加到处延层穿通后,空间电荷区的电场将随外加电压的增加而很快上升。当最大电场达到雪崩临界场强时,Ma→1,集电极电流急剧上升,晶体管一次雪崩击穿。在pn结附近雪崩区内,由雪崩倍增产生大量的电子-空穴对,电子向集电极漂移,大量电子通过侧空间电荷区,使有效正向空间电荷减少,雪崩区宽度增加,载流子倍增,进一步增大。当电流密度增加到时,电流再增加,通过n区的电子浓度,n区变为负空间电荷区,最大电场移至结处,雪崩倍增区移至结附近。倍增产生的电子直接由集电极收集,空穴通过n区空间电荷区漂移到基区。空穴在负空间电荷区的非雪崩区内将中和部分可动电子,使负空间电荷密度下降,电场分布变化,分布曲线包围的面积减小,晶体管上承受的电压下降,晶体管进入低压大电流二次击穿状态。
发生二次击穿的部位常是存在工艺缺陷的地方,如管芯与底座间烧结层的空洞,发射极键合点压偏使镇流电阻短路,
硅铝合金常使基区厚度不均匀等。这些缺陷使电流集中,热阻增大。局部发热过甚,导致PN结烧毁,所以要有针对性地加强工艺控制,确保工艺质量。