互补性氧化金属半导体CMOS（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）和CCD一样同为在扫描仪中可记录光线变化的半导体。目前
CMOS感光器件主要应用于少数
名片扫描仪和文件扫描仪。CMOS的制造技术和一般计算机芯片没什么差别，主要是利用硅和锗这两种元素所做成的半导体，使其在CMOS上共存着带N（带–电） 和 P（带+电）级的半导体，这两个互补效应所产生的电流即可被处理芯片纪录和解读成影像。然而，CMOS的缺点就是太容易出现杂点, 这主要是因为早期的设计使CMOS在处理快速变化的影像时，由于电流变化过于频繁而会产生过热的现象。