低压化学气相沉积
化学气相沉积方法
低压化学气相沉积是2011年公布的材料科学技术名词。
定义
在低于一个大气压的条件下进行的化学气相沉积。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
材料科学技术名词.术语在线.
最新修订时间：2023-01-15 21:49
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