低温气体碳氮共渗(旧称气体软氮化) 是在气体介质中进行的低温碳氮共渗工艺。虽然低温液体碳知共渗所用原料便宜，一般也无需吹人空气，故应用较为普遍; 但是，由于反应物中仍有少量的氰盐，工件处理后的清理及废盐处理仍较麻烦，所以有逐步让位于低温气体碳氮共渗的趋势。

在获得相同厚度的渗层时，气体低温碳氮共渗工艺周期较渗氮短，但却比盐浴低温碳氮共渗的工艺周期长30%~-50%。