光学邻近效应 (Optical Proximity Effect, OPE)是由于部分相干成像过程中的非线性空间滤波，像强度频谱的能量分布和位相分布相对理想像频谱有一定畸变，并最终大大降低了成像质量，即引发光学邻近效应。
光学邻近效应 (Optical Proximity Effect, OPE)是由于部分相干成像过程中的非线性空间滤波，像强度频谱的能量分布和位相分布相对理想像频谱有一定畸变，并最终大大降低了成像质量，即引发光学邻近效应。
空间像边角畸变的原因：理想像强度频谱分布取决于掩模上的线条的特征尺寸、形状和分布规律，其中边角或细锐的线条为频谱提供较多的高频成份，但由于衍射受限，这些高频成分不能够经过系统到达实际空间像像面对应的边角处，这必将导致空间像在边角处的光强分布失配，造成实际空间像线条边角处的圆化或畸变。
空间像线尾缩短的原因：在亚微米光刻中，线条的高频成份较多，而线条的尾部的高频成份相对来说就更多了一些。因此，成像系统的
非线性滤波必将滤掉到达像面线尾部的大部分能量，仅一部分零频光能参与线尾的成像，线条尾部空间像的边缘衬度将大大下降，这是造成线尾缩短的一个重要原因。
对掩模上的图形做适当的修改以补偿这种效应，从而在晶圆上得到和设计相同的图形，如图2 所示。这种修正称为光学邻近效应修正(Optical Proximity Correction, OPC)。