六氯乙硅烷是一种
无机化合物，化学式为Si2Cl6，可以看成一种硅的氯化物。它是一种无色液体，在潮湿空气中发烟。它在用作化学试剂和合成
硅单质的挥发性前体方面具有特殊应用。
六氯乙硅烷是
六氯乙烷的硅类似物，但是化学性质不同。六氯乙硅烷对水稳定性较差。
六氯乙硅烷分子采用乙烷结构，Si-Si单键键长为233pm。六氯乙硅烷是在
硅化物氯化过程中产生的，例如
二硅化钙。理想的反应方程式如下：
六氯乙硅烷在空气或氮气中在高达400°C的温度下至少可以稳定数小时，但即使在室温下，在
路易斯碱存在下会分解成十二氯代新戊硅烷和
四氯化硅，这种转化可用于制造用于包括
光伏电池在内的半导体器件的硅基组件。反应方程式为：