内氧化是氧通过扩散进入合金内部，在合金次表面层中实现选择性氧化形成内氧化物的过程。

在合金的高温氧化过程中，除了形成表面氧化物以外，氧可能溶解并扩散进入合金内部，与合金中较活泼的组元发生反应而形成颗粒状氧化物沉积在合金内部的过程。相应的氧化物称内氧化物。只有当合金的组成和浓度满足一定条件时才会发生内氧化，纯金属则不会发生。

内氧化法主要用于制备Al2O3弥散强化铜基复合材料。内氧化法可以获得纳米级、均匀分布的氧化物颗粒，是制备高性能氧化物弥散强化铜基复合材料的首选方法。其工艺主要有以下几步：混合待反应粉末→装入密封容器→在一定的反应温度下反应。

该方法也可用于氧化物弥散强化高温合金，但必须考虑生产成本问题。第三代氧化物冶金技术的核心也是利用基体中弥散分布且高温稳定的纳米级氧化物粒子的强烈钉扎作用来显著抑制奥氏体晶粒在1400℃高温急剧长大，从而获得优异的大线能量焊接热影响区韧性，考虑到钢材作为一种廉价材料，低成本制造是关键，故不能采用传统的内氧化法。二者的基本技术思路是一致的，值得借鉴。