准分子气体激光器
激光器
准分子气体激光器是一种用于机械工程领域的激光器，于1997年12月1日启用。
技术指标
输出波长：248nm（193nm）最高单脉冲能量：1200mJ最高脉冲重复率：50Hz最大平均功率：60W。
主要功能
微加工。
参考资料
准分子气体激光器.国家科技基础条件平台中心.
最新修订时间：2022-06-30 13:39
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概述
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