化学机械抛光
1993年全国科学技术名词审定委员会公布的电子学名词
化学机械抛光是1993年全国科学技术名词审定委员会公布的电子学名词。
出处
《电子学名词》第一版
公布时间
1993年，经全国科学技术名词审定委员会审定发布。
参考资料
化学机械抛光.术语在线.
最新修订时间：2022-04-12 11:00
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