各向异性刻蚀
不同的结晶学平面呈现出不同的腐蚀速率的刻蚀方法
各向异性刻蚀通常是指不同的结晶学平面呈现出不同的腐蚀速率的刻蚀方法。
事实上，现实中既不可能做到完美的选择性，也不可能有完美的各向异性。
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最新修订时间：2022-05-06 21:55
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