四氟化钛_化学学术语 - 线报百科mbji.cn

四氟化钛

化学学术语

四氟化钛，化学式TiF4，是一种极易吸水的白色粉末。分子量123.87。

理化性质

溶于冷水中分解，溶于H2SO4、乙醇和吡啶中，不溶于乙醚，与干燥的气体如O2、N2、CO、CO2、HCl、SO3、CS2等都不反应

制备方法

以钛粉直接氟化或将四氯化钛与无水氟化氢作用均可制得纯度99%以上的产品。

应用领域

在微电子工业中用作化学气相沉积硅化钛，以制取低电阻、高熔点的互连线。

计算化学数据

分子结构

与其他钛卤化物相比，它采用了八面体配位的钛聚合物结构。

质量指标

参考资料

四氟化钛.中国化工制造网.

最新修订时间：2023-06-26 11:28

条目作者

概述

理化性质

制备方法

应用领域

计算化学数据

参考资料