场区
氧化层
在微电子学中,场区是指一种很厚的氧化层,位于芯片上不做晶体管、电极接触的区域,可以起到隔离晶体管的作用。
有源区和场区是互补的,晶体管做在有源区处,金属和多晶硅连线多做在场区上。
CMOS工艺
中的场区(即晶体管以外的区域)需要较厚的氧化层,目的是提高场开启电压,使其高于工作电压,形成良好的隔离;同时减小金属层或多晶硅与硅衬底之间的寄生电容。但仅靠增加场氧的厚度仍不能满足对场开启的要求(即满足场在器件正常工作时不可能开启的要求),还要对场区进行注入,增加场区的掺杂浓度,阻止沟道的生成,进一步提高开启电压。
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最新修订时间:2024-05-21 17:31
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