对元件的失效都采用统计方法。在
电迁移时,由统计法求出平均失效时间MTTF(Meam Time to failure)。并用它来描述材料抗电迁移的能力,显然MTTF越大,则越佳。有时平均失效时间也可以指中值失效时间。MTTF表示在同样试验条件下,使同一种薄膜材料的
电阻增大一倍所需的时间。
n称
电流密度指数,是一个很重要的量,它与薄膜工作温度、温度梯度以及薄膜的
几何形状等因素有关。n的数值为1~10,在
加速寿命试验中,n值的大小直接影响外推正常工作条件下的寿命。实际上n与电流密度也有关系,因为电流密度越大,焦耳热就越大,在导电带中形成的温度涕度也越大,也就越容易发生电迁移。
3、
晶粒尺寸变化保持一定的情况下,MTTF随平增晶粒尺寸的增大而增大;