异丁基锗烷_化学物质 - 线报百科mbji.cn

异丁基锗烷

化学物质

异丁基锗烷（IBGe，化学式：(CH3)2CHCH2GeH3）是一种有机锗化合物。

它是一种无色不稳定的液体，用于有机金属化学气相沉积法。在张力硅的应用中，异丁基锗烷用于形成沉积的锗薄膜和含锗的半导体薄膜（例如锗化硅）。它还用于制备NANDFlash中的GeSbTe。

参考资料

最新修订时间：2023-11-12 13:51

条目作者

概述

参考资料