循环流化床高效清洁燃烧与利用山西省重点实验室_山西省重点实验室

循环流化床高效清洁燃烧与利用山西省重点实验室

山西省重点实验室

循环流化床高效清洁燃烧与利用山西省重点实验室依托太原理工大学。

研究方向

主要从事宽禁带半导体单晶生长及加工机理、缺陷形成及演变机制、薄膜生长及分析表征研究，在宽禁带半导体设备方面形成了特色。已经形成从设备研制、粉料制备、单晶生长、晶片加工到薄膜材料验证的研究中试线。

参考资料

循环流化床高效清洁燃烧与利用山西省重点实验室.山西转型综合改革示范区大型科学仪器设备共享平台.

最新修订时间：2021-09-18 17:18

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