微传感器
新一代传感器器件
微传感器是一种基于
半导体
工艺技术的新一代
传感器
器件,它应用新的工作机制和物化效应,采用与标准半导体工艺兼容的材料,用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。
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微传感器的分类:
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最新修订时间:2022-11-07 09:42
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