微型机械
微型机电系统
微型机械泛指尺寸范围为毫米、微米或
纳米
级,集微机构、
微传感器
、微驱动器、微执行器和
微控制器
为一体的的
微型机电系统
(MEMS)。
中国在近十年期间,通过微齿轮、微泵、微电机、微马达、微型飞机和微型陀螺等研究,在MEMS领域取得了突出进展。提出和发展了由于尺度效应而产生的微机械学。
MEMS技术已开始在我国的社会生产中发挥作用,如微操作机器人已开始用于生物工程中的细胞分裂、显微手术和生物芯片的制造工艺;
微传感器
已民开始用于飞行器的加速度、压力等参数的实时测量;
纳米薄膜
润滑技术已应用于火箭和计算机硬盘的制造工艺。
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最新修订时间:2022-10-11 16:10
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