微机械加工_获得元件之间的特征尺寸和间隔处于1μm或更小范围内的三维器件的加工工艺

微机械加工

获得元件之间的特征尺寸和间隔处于1μm或更小范围内的三维器件的加工工艺

微机械加工是指获得元件之间的特征尺寸和间隔处于1μm或更小范围内的三维器件的加工工艺。这是一种批量制造工艺，所用材料及工艺均类似于成熟的集成电路工艺，故微机械加工的传感器在性价比方面较之普通加工的传感器有明显改进。

微机电系统中的微机械加工方法可大致分为以下三类

①利用传统的超精密加工及特种加工技术实现微机械加工。

②基于集成电路制造工艺的微机械加工技术。这类方法具有微电子技术的精度高、成本低的优点。

③一些迅速发展的有前景的微机械加工技术，如光刻电铸模造(Lithographie Galvano-formungAbformung，LIGA)工艺等。

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最新修订时间：2023-10-16 19:44

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