微沟槽
光刻模板表面形成微米级别的沟和脊
微沟槽,采用光刻技术,在光刻模板表面形成微米级别的沟和脊。
再将硅胶倾倒于模板表面,加热塑固化后,将硅胶与模板分离,可在硅胶膜表面形成微沟槽结构.
参考资料
最新修订时间:2024-05-13 13:43
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概述
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