微波等离子体化学气相沉积是使反应气体的分子离化的微波。

微波等离子体 CVD （Microwave PCVD, MPCVD）将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器，并通入 CH4与 H2的混合气体，在微波的激励下，在反应室内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。