微波诊断可利用接触式照射器逐点测量或定点测量，也可用微波断层扫描(配有计算机数据处理系统)来进行。

微波诊断是指人体组织是一种有损耗的电介质，皮肤、脂防、肌肉、骨骼、血液和脑等各种器官以及各种病变组织的介电常数各不相同。当微波在人体中传播时，遇到不同组织的分界面以及通过不同组织时，就会产生反射、衰减、相移、散射和衔射等，测定这些参数的变化就可以进行无创伤诊断。诊断可利用接触式照射器逐点测量或定点测量，也可用微波断层扫描(配有计算机数据处理系统)来进行。例如对乳腺癌、颅内肿瘤、肺气肿及肺水肿等已用于临床诊断。