扩散混合法适用于常温下为液体的有机标准气体的制备，如苯、甲苯、甲醛、乙醇等。扩散法的优点在于它能利用混合气的连续流动来吹洗取样管路和仪器装置，而且可以将这些物质对气体的吸附作用降至最低程度。
扩散法是通过选择合适的扩散池组合、流速和温度以提供蒸气相中所需成分的纯液相来稀释气体。所需组分的含量可达10-9～10-6。
标准混合气体中微量组分以液态形式储存在一个合适的扩散池内，其蒸气沿着均匀的试管扩散，稀释气以已知流速通过试管另一端与组分气混合制成标准混合气体，通过改变稀释气流速可以获得不同的混合气体的
含量。