施敏(1936年3月21日-2023年11月6日),出生于中国南京,微电子科学技术、半导体器件物理专家,
台湾中央研究院院士、
美国国家工程院院士、
中国工程院外籍院士,生前系
台湾交通大学电子工程学系毫微米元件实验室教授。
人物生平
1936年3月21日,施敏出生于中国江苏省南京市,之后随家人前往台湾,父亲施家福在台湾省立台北工业专科学校(现
台北科技大学)矿冶工程科任教。
1957年,毕业于台湾大学电机系,之后赴美留学。
1960年,获得华盛顿大学电机系硕士学位。
1963年,获得斯坦福大学电机系博士学位,博士毕业后,在斯坦福大学教授John Moll推荐下进入贝尔实验室工作,在此工作直到1989年退休。
1966年夏,施敏在台湾学界的邀请下回到台湾讲课,在台湾清华大学暑期举办了两个月的讲座。
1968年,选择留职停薪,把贝尔实验室的工作停摆了下来,回到台湾于台湾交通大学担任董浩云讲座教授一年,在电子研究所开设《半导体元件物理》《固态电子元件实验》两门课程。
1969年初,以论文《金属半导体薄膜结构之特性》获得中山学术著作奖。同年7月参与创办台湾第一家半导体公司环宇电子股份有限公司,担任技术顾问,而任职的工程人员包括宏碁集团创始人
施振荣。
1989年,自贝尔实验室退休。
1990年,开始于台湾交通大学电子工程系任教,担任电子与资讯研究中心主任。
1991年,获得电气和电子工程师协会电子器件Ebers奖。
1994年,当选为台湾中央研究院院士(数理组)。
1995年,当选为美国国家工程院院士。
1998年,当选为中国工程院外籍院士。
1998年—2004年,担任台湾奈米元件实验室主任。
2004年,担任台湾奈米元件实验室资深顾问。
2023年11月6日,施敏去世,享年87岁。
主要成就
科研成就
1967年,施敏与韩裔美国人姜大元(Dawon Kahng)休息吃甜点时,用了一层又一层的涂酱,触动施敏与他二人的灵感,想到在金属氧化物半导体场效电晶体(MOSFET)中间加一层金属层,结果发明了非挥发性记忆体(Flash),5月两人在《贝尔系统科技期刊》(The Bell System Technical Journal)上发表第一篇关于非挥发性内存的论文“浮闸非挥发性半导体内存细胞元件”,第一次阐述了闪存存储数据的原理技术,随后由贝尔实验室取得专利。
1970年代,时任台湾经济部长
孙运璿邀请施敏担任“经济部发展积体电路计画工作小组”成员之一,施敏所提出的最关键建言,就是力荐孙运璿要推动半导体业。
20世纪80年代初,施敏首先以电子束制造出线宽为0.15μm MOSFET器件,首先发现崩溃电压与能隙的关系,建立了微电子元件最高电场的指标。
人才培养
1969年,施敏编著的《半导体元件物理学》(Physics of Semiconductor Devices)第一版出版,之后被翻译成六国文字,被广泛用作教科书与参考书。
1968年,台湾设立工程博士班,施敏担任首位工程博士候选人
张俊彦的论文导师,1970年张俊彦以《金属半导体接口载子传导》为论文题目,通过口试成为台湾第一位工程博士。他指导的学生卢超群1999年当选为美国国家工程学院院士。
2003年以来,施敏在中国内地高校,包括西安交通大学、北京交通大学、东北大学、吉林大学、山东大学、苏州大学和安徽大学,开设“半导体物理和设备”这门课程,该课程主要是为了培养更多的中国学生参与到半导体设备领域。
2005年,在上海交通大学开设了一门INTENSIVE COURSE,为期三周共18节课。
荣誉表彰
社会任职
人物评价
施敏是国际知名的微电子科学技术与半导体器件专家和教育家,是非挥发MOS场效应记忆晶体管(NVSM)的发明者,在金半接触、微波器件及次微米金属半场效应晶体技术等领域都有开创性的贡献,在电子元件领域做出了基础性及前瞻性贡献。(2017 IEDM Plenary Awards评)