显微维氏硬度最早应用于20世纪30年代。经过多年应用和改进，现在已有多种专用
金相显微镜式的显微硬度计。这种检测方法除用于产品的工艺检验外，同时在
材料科学与工程的研究中也得到了广泛的应用。成为金属学、金相学主斋最常用的试验方法之一。
显微维氏硬度是维氏硬度的一种。按照试验力的大小，维氏硬度可以分为维氏硬度试验、小负荷维氏硬度试验、显微维氏硬度试验。显微维氏硬度的试验力范围在0.09807≤F＜1.961之间。因其试验力很小，因此具有许多其他硬度试验方法所不具备的功能和性质。
显微维氏硬度测量原理与维氏硬度测量原理相同，即使用规定的试验力，将顶部两相对面为136度的金刚石正四棱锥体压头压入试样表面，保持规定的时间后撤除试验力，测量试样表面压痕对角线长度。
3：压头多样。除了正四棱锥体金刚石压头之外，还有适用于测量高硬度材料的三角形角锥体压头、双锥形压头以及适用于测量直径小于1mm的圆柱试样的船底形压头、测量极薄试样的双柱形压头。
3：对非金属材料测定。显微硬度试验比较适合对玻璃、陶瓷、矿物等
脆性材料的硬度测定。