晶圆清洗
晶圆制造过程的工艺步骤
晶圆清洗，将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺。是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。
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晶圆清洗.大辞海.
最新修订时间：2022-05-01 15:38
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