晶格失配度
描述衬底与外延膜晶格匹配程度的参量
晶格失配度，描述衬底与外延膜晶格匹配程度的参量。晶格失配影响晶体的外延生长，会在外延层中产生大量缺陷，甚至无法生长单晶，影响器件的性能和寿命。
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晶格失配度.大辞海.
最新修订时间：2022-10-06 19:18
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