林本坚，男，1942年出生在越南，中国台湾人，祖籍广东潮汕，美国国家工程院院士，台湾“中央研究院”院士，台湾清华大学、台湾交通大学、台湾大学特聘讲座教授，清大—台积电联合研发中心主任。

1942年，林本坚出生在越南，从小生长在越南西贡。

1959年，到台湾新竹高级中学读书。

1963年，获得台湾大学电机工程学系学士。

1970年，获得美国俄亥俄州立大学电机工程学系博士。

1970年—1992年，在美国国际商用机器公司任研究员、研发经理、部经理、幕僚。

1992年—2000年，在美国领创公司任总经理。

2000年，回到台湾，加入了台湾积体电路制造股份有限公司（以下简称：台积电）。

2000年—2015年，在台积电任资深处长、杰出科技院士和副总经理。

2008年，当选美国国家工程学院院士。

2014年，成为第一位出身业界的台湾“中央研究院”院士。

2015年底，从台积电退休。

2016年起，任台湾清华大学特聘研究讲座教授。

林本坚一系列突破性的创新所开拓的浸润式微影（也称光刻）方法，革新了集成电路的制程，使先进半导体芯片的特征尺寸能持续缩减为细微纳米量级，在过去十五年以及可预见的未来，为建造最强大的计算和通信系统做出了关键贡献。2002年，林本坚发明了“浸润式微影技术”，彻底改变了集成电路的生产。这项技术是在透镜和硅片表面的间隙中，用水代替空气以提高分辨率。当全世界的半导体研发团队都在专注于157纳米波长技术时，林本坚创造性地以193纳米波长的光，通过水作为介质，将其缩短至134纳米。他通过各种国际研讨会说服同行使用该技术，由此继续将摩尔定律延续下去。

《把心放上去：林本坚的‘用心则乐’人生学》

“技术上的困难都是纸上谈兵，要有晚上睡不着觉的信念去解决问题。”他勉励年轻人，做科研一定是享受科学乐趣的，“不要死犟，要会转弯，会求助，‘三个臭皮匠顶个诸葛亮’。”

林本坚的父母早先时候居住在香港，在抗战时期逃到相对安全的越南，林本坚便出生在那里。在越南，他一方面接受中国式的教育，另一方面因父亲曾是一所英文学校的校长，为他学习英文打下了扎实基础。林本坚的妻子是黄修慧。

林本坚是虔诚的基督教徒，待人和善，说话的时候语调总是慢慢的轻轻的，以前的同事和晚辈都称他“Burn爷爷”。但是，当面对自己的工作和研究时，这个和善的老先生就会无比坚定。

诚信、正直、操守，还有反复强调的合作精神。

林本坚是极具成就的科学家和发明家，半导体工业界的英雄，“浸润式微影之父”。他彬彬有礼、丰采奕奕，颠覆了人们对科研工作者的一贯印象。内敛、安静、风趣，这几个特点，是洋溢在林本坚身上的易被感知的特点。在科学家的岗位上尽责尽心，当先生，又表现得体、周道。作为科学家，在外，45年如一日，开山辟路，荣誉等身，业界隆崇。在内，父慈子孝，伉俪荣谐，活力盎然。（网易科技评）

假如没有林本坚及其团队，“台积电的微影（半导体关键制程之一）不会有今天这规模。”（台积电董事长张忠谋评）

奖励他开拓浸润式微影系统方法，持续扩展纳米级集成电路制造，将摩尔定律延伸多代。（未来科学大奖获奖评语）

“他的心，跟上了他的每一个步伐。”（林本坚挚友评）

“林本坚院士是改写半导体历史的巨擘，也是光学微影技术的先驱者，清华能够延揽到这位谦虚又乐意传授的国际人才任教，非常荣幸。”（台湾清华大学电机系主任徐硕鸿教授评）

林本坚从台积电退休后，和妻子一同为俄亥俄州立大学母校创办助学基金，将未来大学大奖的100万美元奖金全数捐入基金会。