在
电场中其电子和离子向相反方向运动可形成电流，电流随电压上
升达到
饱和。再增加上升形成暗放电，接近气体击穿时形成
电晕放电。电子在外加电场中加速，其能量超过中性原子电离电位时，电子的碰撞产生电离，新产生的电子与因碰撞丢失了能量的电子都被电场加速，在随后的碰撞中电子一离子对数量迅速增加，导致气体击穿，称为雪崩效应。气体击穿后通常为
辉光放电。继续增高电压，若电源内阻足够低，阴极电流密度超过正常值，阴极发热并发射电子即过渡到电弧放电，常见于
电弧焊、等离子体炬中。常用的等离子体产生方法有直流、交流、
脉冲、高频、
射频和微波等。
气体放电等离子体，简称等离子。气体放电等离子体作为物质的第四态，其物性及规律与固体液态、气态的各不相同。等离子体是由电子、离子和
中性原子三种粒子的混合物，宏观上等离子体呈电中性。等离子体是在两组电极上施加足够高的电压，在电极间形成强电场，电场的强度高达30kv/cm在强电场的作用下，气体产生流光放电和局部电离，在气体电离过程中产生大量的o，
羟基、活性因子和自由基，如气体中含有机气体和有害气体，气体中的物质在流光放电过程中产生分解和氧化作用，有效地消除气体中的有害成分，有效地净化了空气。所以等离子体的作用主要用于清除空气中的有害物质，在流光放电的过程电极间形成了光、
电磁等高能作用区，杀灭空气中微生物如：
螨虫、
霉菌和气体细菌。