氮氧化硅
电子学名词
氮氧化硅（silicon oxynitride）是1993年公布的电子学名词。
公布时间
1993年，经全国科学技术名词审定委员会审定发布。
出处
《电子学名词》第一版。
参考资料
氮氧化硅.术语在线.
最新修订时间：2022-04-15 18:29
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