氯氢化
化学物质
利用
四氯化硅
生产三氯氢硅从技术路线上看,氯氢化技术比热氢化技术更为理想和先进。它是将四氯化硅、氯化氢、氢气与硅粉在500℃温度下反应生成三氯氢硅。
该技术具有以下优点:装置单一、投资小、占地少;反应温度低、操作稳定;对原料纯度要求低,多晶硅生产过程中副产的二氯硅烷可与
四氯化硅
发生
反歧化反应
生成三氯氢硅;转化率高、能耗低,每生产1吨三氯氢硅耗电850~1000千瓦时。
氯氢化技术成功地将多晶硅生产过程中副产的四氯化硅、氯化氢、二氯硅烷转化为三氯氢硅,实现了多晶硅生产的密闭循环,避免了污染物排放,是一种理想的生产技术。
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最新修订时间:2022-06-15 00:46
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