氯硅烷是一种化学品，化学式为SiH3Cl，无色气体。可燃。但易挥发。易水解，在空气中发烟。对金属相当地惰性（绝对干燥时），甚至不与金属钠反应。通过SiCl4与氢气反应，或者SiH4与氯气制得。氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。

氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。

与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。

用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。

此外，四氯化硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高纯度硅的的中间产物。分馏後，可以获得99.999999999%（十一个9）纯度的硅。

可由硅粉与氯化氢于290～400℃反应来制取，也可由硅粉与氢和氯化氢的混合物，在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应来制取。

吸入、食入对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下，会引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿，并可伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状。溅在皮肤上，可引起坏死、溃疡，长期不愈。

皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用流动清水冲洗15分钟以上。若有灼伤，就医治疗。眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水冲洗15分钟或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。注意保暖，保持呼吸道通畅。必要时进行人工呼吸。就医。食入：患者清醒时立即漱口，给饮牛奶或蛋清，立即就医。

疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。将地面洒上苏打灰，然后用大量水冲洗，经稀释的洗水放入废水系统。如果大量泄漏，最好不用水处理，在技术人员指导下清除。

灭火剂：用水雾、干粉、泡沫或二氧化碳灭火剂灭火。避免使用直流水灭火，直流水可能导致可燃性液体的飞溅，使火势扩散。

特别危险性：无资料。

灭火注意事项及防护措施：消防人员须佩戴携气式呼吸器，穿全身消防服，在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。处在火场中的容器若已变色或从安全泄压装置中发出声音，必须马上撤离。隔离事故现场，禁止无关人员进入。收容和处理消防水，防止污染环境。