1622年（
元和8年）立藩。当时
鸟居忠政完成迁移
山形藩的工作。其中
上总国佐贯藩主
内藤政长以七万石入主。此外政长嫡子政男领有2万石。
1634年（
宽永11年）政长逝世。政长遗言由政晴继承2万石领地，泉藩因此建立。
1702年，内藤政森移封至
上野国安中藩。由
板仓重同，重同之子板仓胜清在
1746年（
延享3年）改封至
远江国相良藩。并由本多忠如入替，第二代藩主本多忠筹实行藩政改革，获幕府信任，获得武藏及上野两国合共5000石领地。藩主在
戊辰战争中为幕府後，战後被夺去官职以及减去2千石，由养子本多忠伸继承。
1871年废藩置县被废藩。