洁净度系指空气环境中空气所含尘埃量多少的程度。在一般的情况下,是指单位体积的空气中所含大于等于某一粒径粒子的数量。含尘量高则洁净度低,含尘量低则洁净度高。
制定
以前有关国家都有各自制定自己的标准,但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行,仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类:一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名,这种命名方法以美国FS-209A~E版为代表,其规定粒径为0.5μm,以空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名,如标准中的100级,表示空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空气中≥0.5μm粒径的粒子数量为100个。二是以单位体积空气中≥规定粒径的粒子个数以10n表示,按指数n命名空气洁净度的等级,这种命名方法以日本JISB9920为代表,其规定粒径为0.1μm,以空气中≥0.1μm粒径的粒子浓度(采用国际单位制)10pc/m3命名为n级。
洁净度等级
洁净度等级与浓度的关系式如下:
式中 N—洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;
D—要求控制的粒径,μm;
—大于或等于要求控制粒径最大允许浓度(最大浓度限值),pc/m3(粒/米3),其值4舍5入至相近 整 数,有效位数不超过3位。
例如,5级洁净室,≥0.5μm粒子的最大
浓度限值为≈3520pc/m3。由于洁净技术起源于美国,最早的标准都是英制。英制洁净度等级用≥0.5μm粒子的英制浓度来命名。例如,≥0.5μm粒子的允许浓度为100pc/ft3(约3520pc/m3)的洁净室,其洁净浓度称为100级。我国1984年的《洁净厂房设计规范》还沿用了英语制等级名称—100级、1000级、1万级、10万级,工程中还在应用这种名称。上述4个等级与GB50072-2001规范中的5、6、7、8级相接近。洁净室的洁净度等级值越小,级别越高。同一等级的洁净室,根据工艺要求可对其中1~2种粒径的粒子浓度进行控制。例如,6级洁净室可要求≥0.5μm的粒子浓度不大于35200pc/m3和≥5μm的粒子浓度不大于293pc/m3。
监测管理制度
洁净区的使用:
(1) 进入洁净区的人员应定期进行微生物基础知识、卫生知识、洁净作业培训;
(2) 人员进出洁净区必须按相应级别的洁净区进出标准操作规程进入洁净区;
(3) 各车间的人员进出洁净区标准操作规程中应明确进入洁净区的人数限度并严格执行;
(4) 凡洁净区使用的物料、器具等必须按规定程序清洁。进入洁净区的物品,要在区外清洁处理,经过传递窗进入区内;
(5) 洁净区内空调宜连续进行。生产结束后,空调系统应继续运行4小时后停止。系统重新再运行之前必须进行消毒;
(6) 废弃物应有专门的容器存放,每日及时清理,由传递窗送出窗外。
洁净区的监测:
(1) 为确保洁净区的净化环境和洁净度,需对洁净区定期监测;
(2) 发现下列情况,高效空气过滤器应予更换;
a. 气流速度≤0.25m/s,即使更换初效和中效空气过滤后,气流速度仍不能增大;
b. 高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。
洁净区的维护:
(1) 洁净区应设置安全门、应急灯及酒精专用柜等安全措施;
(2) 洁净区的管理要有记录;
(3) 除了使用人员日常管理外,对洁净区空调系统和洁净区的空气净化设备一年大修一次,在生产期间如遇异常情况应及时检修,大修后要验证。
测试及方法
测试
洁净室的空气洁净度,应进行下列测试:
空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
动态测试:洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
方法
洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数也可采用滤膜显微镜计数法。