浅沟道隔离
一种常用在传统CMOS硅工艺中隔离器件的工艺技术
浅沟道隔离（Shallow Trench Isolation）是一种常用在传统CMOS硅工艺中隔离器件的工艺技术。
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最新修订时间：2023-12-04 21:21
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