清华大学微电子学研究所于1980年9月由中国国家教育部批准建立，位于清华大学校园内。

全所现有建筑面积约10000平方米，是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的重要组成部分，开展各种领域的微纳电子学研究及集成电路设计、制造、系统集成技术的开发，具有一条较为完备的集成电路开发与工艺试验线，是信息科学国家实验室的组成部分，也是高素质微纳电子科技人才的培养基地。

清华大学微电子学研究所科研与教学设施先进，拥有博士生导师13人。在1988年第一次国务院重点学科评选时，成为全国微电子学领域重点学科点。建所20年来，共培养学士千余名，硕士与博士300多名，向社会输送各层次优秀专业人才共计1300多人。又建立了可以完成IC相关技术全面教育与培训的优良环境，开展了多种类型学位教育及专项技术培训，取得显著效益。根据学科发展的需要，2004年9月清华大学在微电子学研究所的基础上成立了微电子与纳电子学系，进一步提升了教学与科研水平，完善了管理体系。

全所在编人员96人（含出国停薪人员），其中正高级14人（中科院院士1人），副高级38人，中级32人，教育职员5人，工人7人。

THU RSA-1024成功开发第二代居民身份证专用芯片，已在全国大规模应用

本项目成果充分体现了产学研结合促进自主创新成果产业化，培育了包括芯片制造、模块封装、制卡制证、读写机具以及应用系统等数百亿规模的产业链与市场，创造了很大的经济效益和社会效益，该成果荣获2004年度北京市科技进步奖二等奖。

完全国产化的公用电话IC卡专用芯片获国家科技进步二等奖

清华大学微电子学研究所研制成功的完全国产化的公用电话IC卡专用芯片，经大唐微电子公司的产业化努力，已在国内集成电路企业形成大规模生产供货能力，是获中国电信入网许可并在国内批量应用最大的国产IC电话卡。

数字信号处理算法芯片设计关键技术获北京科技进步二等奖

研制成功代表现代密码学发展方向的公钥密码模幂乘运算芯片THM256，它采用0.8微米工艺，在90MHz工作频率下进行RSA系统加解密的速度达到117Kbpi，达到国际先进水平，为我国信息安全提供了有价值的技术来源。该项技术成果《数字信号处理算法的芯片设计关键技术》荣获2001年度北京市科技进步二等奖。

在新型微纳电子器件研究及系统级封装技术方面

在量子计算与固体实现及超导量子器件的国际前沿寻求突破

在集成电路工艺技术、材料及特色电路研究方面

1989年建成国内第一条1微米级超大规模集成电路工艺研制线，在国内第一次正向设计和研制成功1Mb汉字ROM，集成度106万个晶体管，标志当时国内的微电子技术跨上了1微米级新台阶。 　研制成功用于VLSI的红外快速热处理系统、超高真空CVD外延系统，获得中国和美国专利，并被授予国家发明二等奖，已在国内企业和研究院所广泛应用。

《锗硅高性能微波器件与微波集成电路研发及产业化》项目通过验收

在集成电路设计技术研究和专用集成电路（ASIC）产品开发方面

从1981年开始，在国内率先研制成功1K位 SRAM、4K位 SRAM、16K位 SRAM、2K位 EEPROM、1M位汉字ROM。1983年开始相继研制成功8位?p的C?8085A、16位?p的C?8086和C?8088、8位RISC单片微控制器与8位嵌入式微处理器TH68HC05与TH80C51核心模块。

与国际著名大学荷兰Delft大学成立“清华—德尔福特微电子技术联合培训中心”。

与世界上最先进的光刻机制造厂商荷兰ASML公司签署了“ASML光刻机适应性技术研究”合作研究项目。

与全球半导体行业先进设备工艺技术及高生产力领域领先企业美国诺发(Novellus)公司保持着长期的合作关系。

美国飞兆半导体公司与该校签署协议合作建立芯片研发实验室。

2004年开始与日本Toshiba半导体公司合作进行CMOS工艺模块技术及稳定性研究。

微电子学研究所与OMRON公司合作项目“小快速IEEE754标准二进制浮点运算处理器”2005年3月由该公司的技术专家一次验收完成。

微纳电子系本科生一级学科名称为电子科学与技术，二级学科名称为微电子学。共有2003级本科生92人，2004级本科生66人，2005级本科生67人。2007年微纳电子系开设了21门本科生课程，其中专业核心课8门，专业限选课5门，平台课2门，专业任选课4门，新生研讨课2门。