溅射清洗
清洁处理的过程
溅射清洗是2011年公布的材料科学技术名词。
定义
利用离子轰击溅射作用，对材料表面进行清洁处理的过程。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
溅射清洗.术语在线.
最新修订时间：2023-01-15 13:35
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