激光气相沉积
激光照射靶材或反应气体，使其气化为原子态，随后气态原子沉积到基材表面形成薄膜的工艺
激光气相沉积是2011年公布的材料科学技术名词。
定义
激光照射靶材或反应气体，使其气化为原子态，随后气态原子沉积到基材表面形成薄膜的工艺。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
激光气相沉积.术语在线.
最新修订时间：2023-01-15 20:22
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