激光系统
一种用于化学工程领域的工艺试验仪器
激光系统是一种用于化学工程领域的工艺试验仪器,于2013年11月04日启用。
技术指标
提供400mJ的沉积能量,平均能量50Hz,27kV。
主要功能
为PLD溅射提供能量。
参考资料
激光系统.国家科技基础条件平台中心.
最新修订时间:2023-09-19 05:33
目录
概述
技术指标
主要功能
参考资料