热化学气相沉积
在800~2000℃的高温反应区，利用电阻加热，高频感应加热和辐射加热的化学气相沉积
热化学气相沉积是2011年公布的材料科学技术名词。
定义
在800~2000℃的高温反应区，利用电阻加热，高频感应加热和辐射加热的化学气相沉积。
出处
《材料科学技术名词》。
参考资料
热化学气相沉积.术语在线.
最新修订时间：2023-01-15 13:30
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