热解氮化硼
特种陶瓷材料
热解氮化硼是一种特种陶瓷材料。氮化硼的六角型小雪片,一片一片的平行地落在石墨基体材料上,达到一定厚度后,最终冷却脱模而制成。
主要特点
材料呈白色,无毒、无孔隙、易加工。
纯度高达99.99%,表面致密,气密性好。
耐高温,强度随温度升高,2200℃达到最大值。
耐酸、碱、盐及有机试剂,高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不浸润、不反应。
抗热震性好,热导性好,热膨胀系数低。
电阻高,介电强度高,介电常数小,磁损耗角正切低,并具有良好的透微波和红外线性能。
在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。
具体应用
半导体单晶及III-V族化合物合成用的坩埚、基座:
原位合成GaAs、InP、GaP单晶的LEC系列坩埚。
分子束外延用的MBE系列坩埚。
VGF、VB法系列坩埚。
PBN/PG复合加热器涂层。
石墨加热器绝缘涂层。
高温绝缘流体喷嘴。
MOCVD绝缘板。
异形坩埚及异形石墨件涂层。
晶片退火工艺用复合加热器。
基本参数
参考资料
最新修订时间:2024-11-05 09:37
目录
概述
主要特点
具体应用
参考资料