电子探针X射线显微分析仪，简称电子探针。是指以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线，并根据X射线的波长和强度，对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理仪器。电子探针分析的原理是以电子束轰击试样表面，击出表面组成元素的原子内层电子，使原子电离，此时外层电子迅速填补空位而释放能量，从而产生特征X射线。不同的元素有不同的X射线特征波长和能量。通过鉴别其特征波长或特征能量就可以确定所分析的元素。电子探针有三种基本工作方式：一是点分析，用于选定点的全谱定性分析或定量分析；二是线分析，用于显示元素沿选定直线方向上的浓度变化；三是面分析，用于观察元素在选定微区内浓度分布。

电子探针可以对试样中微小区域微米的化学组成进行定性或定量分析，除做微区成分分析外，还能观察和研究微观形貌、晶体结构等。电子探针技术具有操作迅速简便、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点，在冶金、地质、土壤、生物、医学、考古以及其他领域中得到日益广泛应用，是土壤和矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。